Приставка магнетронного распыления ПМР-3

В наличии
Цена: 
по запросу
Способы доставки
Доставка по г. Белгород от 2 дней
Самовывоз из терминала - бесплатно
Способы оплаты
наличные
безналичный расчет
интернет-банкинг
предоплата, частичная оплата, постоплата

Приставка магнетронного распыления ПМР-3 служит для модернизации более старой модели ВУП-5.

Магнитораспыляющая система обеспечивает:

  • универсальность процесса, что позволяет получить пленки металлов, сплавов и полупроводников;
  • высокую скорость осаждения с возможностью ее регулирования в широких пределах;
  • сохранение соотношения компонентов при распылении вещества сложного состава;
  • получение особо чистых пленок;
  • высокую адгезию пленок и подложки;
  • возможность изменения структуры и свойств пленок;
  • распыление нескольких материалов без разгерметизации объема;
  • низкую пористость пленок даже при малых толщинах;
  • небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую структуру;
  • высокую энергетическую эффективность процесса;
  • использование для осаждения и травления широкого класса материалов.

В состав приставки магнетронного распыления ВН 2000 входит:

  • магнетрон, диаметр мишени 80мм, устанавливается на фланце, в верхней части рабочего колпака;
  • блок питания (1 А, 900 В), устанавливается сверху пульта вакуумного универсального поста.
Технические характеристики
Габаритные размеры магнетрона:
диаметр 180 мм
высота 80 мм
Габаритные размеры блока питания:
длина 465 мм
ширина 540 мм
высота 220 мм

Требуется изготовление нового рабочего колпака с размещенным сверху фланцем Dy 170 для установки магнетрона. Напыление осуществляется сверху вниз.

Похожее на Приставка магнетронного распыления ПМР-3